X射线荧光光谱仪(X-rayFluorescenceSpectrometer,简称:XRF光谱仪),是一种快速的、非破坏式的物质测量方法。X射线荧光(X-rayfluorescence,XRF)是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线。
XRF用X光或其他激发源照射待分析样品,样品中的元素之内层电子被击出后,造成核外电子的跃迁,在被激发的电子返回基态的时候,会放射出特征X光;不同的元素会放射出各自的特征X光,具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些X光,仪器软件系统将其转为对应的信号。